【天美-普利賽斯】半導(dǎo)體用戶解決方案之天平水分儀熱分析
天美熱分析作為國內(nèi)熱分析儀器的制造yin領(lǐng)者,擁有五十多年的熱分析技術(shù)研發(fā)經(jīng)驗。
普利賽斯,瑞士儀器儀表制造商,著名電子天平品牌。普利賽斯憑借其核心稱重技術(shù)及“品質(zhì)至上、開拓創(chuàng)新”的理念,向儀器儀表客戶及合作伙伴提供高精度實驗室稱量產(chǎn)品及解決方案,包括微量天平、分析天平、精密天平、工業(yè)天平、水分儀、全自動水分灰分儀等。
芯片制造過程中涉及到大量普利賽斯的產(chǎn)品,其用戶也可大致分為六類:一是晶圓代工廠,在材料入廠檢和中間控制步驟中涉及到天平;二是硅片制造廠商需要使用天平等對研磨液和清洗液進(jìn)行含量分析;三是電子特氣類客戶,利用天平進(jìn)行稱量;四是濕電子化學(xué)品客戶,通過天平及其密度組件對一些成分含量進(jìn)行分析測試和密度測試等;五是光刻膠廠商,使用水分儀、熱分析儀DSC和TGA等測定水分和熱穩(wěn)定性等;六是封裝材料廠商,需要天平、DSC和TGA等對點膠和材料熱性能進(jìn)行測試。
天美-普利賽斯天平水分儀熱分析技術(shù)測定解決方案,可充分保證半導(dǎo)體芯片制造過程中水分及熱量的準(zhǔn)確判定,提升研發(fā)效率及產(chǎn)品控制。
▲Precisa普利賽斯EM120系列水分測定
EM120特點:
?超大LCD背光顯示屏,配置360EP電子天平
? 圖形化顯示,控制圖表實時顯示樣品水分變化
? 外形緊湊,全鑄鋁制造,有效抗靜電和隔離稱重及加熱單元,讓儀器? 測定更精準(zhǔn)
? 全自動智能校準(zhǔn)系統(tǒng)(SCS),確保儀器良好性能
? 用戶權(quán)限管理,可編輯樣品和用戶ID,*法規(guī)操作要求
? 實時時鐘功能,滿足GxP要求
? 豐富的應(yīng)用功能:內(nèi)置自動重復(fù)性測試(ART)/檢重/統(tǒng)計等應(yīng)用
? 機械保護(hù)及多用戶密碼保護(hù)
? 支持3Q認(rèn)證
▲Techcomp差示掃描量熱儀DSC30
程序控制溫度下,測量輸入到試樣和參比物的熱流量差或功率差與溫度關(guān)系的一種技術(shù)。DSC在科研、質(zhì)量控制和生產(chǎn)應(yīng)用中材料的研究、選擇、比較和最終使用性能的評估發(fā)揮著重要作用,其技術(shù)廣泛應(yīng)用于塑料、橡膠、涂料、食品、醫(yī)藥、生物有機體、無機材料、金屬材料與復(fù)合材料等領(lǐng)域。
DSC主要測量與研究材料的如下:
玻璃化轉(zhuǎn)變(Tg)、熔點和沸點、結(jié)晶時間和溫度、結(jié)晶度、多種形態(tài)、熔化和反應(yīng)熱、氧化/熱穩(wěn)定性、固化速率和程度、反應(yīng)動力學(xué)、純度。
DSC特點:
? 熱流型DSC
? 整體一體化,減少信號損失
? DSC30加熱爐采用創(chuàng)新結(jié)構(gòu)設(shè)計
? 采用BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)PID算法作為溫度控制算法
? 完善的專用計算機控制氣氛流量系統(tǒng)
? 用戶可自行進(jìn)行各溫度段的溫度、能量系數(shù)校正
? 提供新一代智能化數(shù)據(jù)采集分析熱分析軟件
? 可配備機械制冷設(shè)備
? 提供操作方便的儀器校正軟件及全套校正標(biāo)樣